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深紫外熒光系統(tǒng)
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產(chǎn)品分類article
相關(guān)文章深紫外熒光系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)
典型參數(shù)
熒光壽命檢測波長 | 220-600 nm |
熒光光譜檢測波長 | 200-1000 nm |
時間分辨率 | ≤20 ps |
空間分辨率 | ≤1 μs |
成像功能 | 熒光強度或光譜成像/熒光壽命成像/深紫外成像 |
成像范圍 | 可定制 |
激發(fā)波長 | 206 nm/257 nm/343 nm/515 nm |
拓展功能 | |
拓展模塊 | 拉曼、SHG、光電流等成像模塊 |
外場調(diào)控 | 支持拓展低溫、高壓、磁場等外場條件 |
深紫外熒光系統(tǒng)應(yīng)用實例
晶圓位錯缺陷光學(xué)無損識別
實驗條件
樣品名稱 | SiC外延片 | 激發(fā)光波長 | 390 nm |
大連創(chuàng)銳光譜科技有限公司基于自主創(chuàng)新的時間分辨光譜技術(shù),致力于推動光譜技術(shù)在科研和工業(yè)領(lǐng)域的深入應(yīng)用。在科研儀器領(lǐng)域,創(chuàng)銳光譜由一線專家?guī)ш?,是目前國?nèi)極少具備瞬態(tài)光譜獨立研發(fā)-生產(chǎn)-應(yīng)用完整能力體系的團隊。創(chuàng)銳光譜以時間分辨光譜核心技術(shù),超快瞬態(tài)吸收光譜系統(tǒng)為核心產(chǎn)品,打破進(jìn)口壟斷格局。主要產(chǎn)品包括瞬態(tài)吸收光譜系統(tǒng)、共聚焦熒光成像系統(tǒng)、DPSS納秒激光器及高速探測器。在工業(yè)半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域,公司以光譜技術(shù)創(chuàng)新為核心立足點,已迅速完成碳化硅襯底、外延、氮化鎵、鈣鈦礦電池等多領(lǐng)域布局。